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M I C R O T R E A T

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激光劃線主要工序

P1激光刻蝕:在透明導(dǎo)電電極 TCO 沉積后,和電荷傳輸層沉積前,進(jìn)行激光刻蝕,以形成彼此獨(dú)立的條形導(dǎo)電電極;

P2激光刻蝕:在第二電荷傳輸層沉積后,底電極沉積之前,進(jìn)行激光刻蝕,去除 HTL/鈣鈦礦層/ETL,留下TCO層,形成一個(gè)空縫。進(jìn)行底電極層沉積時(shí)金屬會(huì)填滿這個(gè)空縫,從而將一個(gè)電池的底電極與下一個(gè)電池的透明頂電極相連;

P3激光刻蝕:去除相鄰電池的底電極/HTL(空穴層)/鈣鈦礦層/ETL(電子 層),留下 TCO 層,從而實(shí)現(xiàn)分離效果;

P4清邊:去除薄膜的邊緣區(qū)域,利用激光劃線劃分出區(qū)域后進(jìn)行清除。

解決方案

Total Solution

激光是鈣鈦礦工藝標(biāo)配設(shè)備

激光劃線和清邊是鈣鈦礦制備過程中的必須工序。鈣鈦礦產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用需 要解決制備大面積組件所面臨的電阻提高等問題,主要解決方向是通過將電池以串聯(lián)或者并聯(lián)的方式制作組件來降低電阻,其中串聯(lián)是鈣鈦礦的主要應(yīng)用方式。

在形成鈣鈦礦電池的串聯(lián)結(jié)構(gòu)時(shí)需要對(duì)不同的功能層在不同的位置進(jìn)行劃線。功能層的劃線可以通過掩膜版、化學(xué)蝕刻、機(jī)械或者激光劃線完成。

激光劃線可以產(chǎn)生更細(xì)的劃線區(qū)域,目前激光劃線已逐漸取代其他劃線方法成為主要的劃線方法,同時(shí)激光設(shè)備還可以應(yīng)用于鈣鈦礦的膜層清除工序環(huán)節(jié)。

主推設(shè)備

Major Equipment

薄膜太陽(yáng)能組件激光劃線實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)

設(shè)備介紹:本設(shè)備為薄膜太陽(yáng)能專用試驗(yàn)線,適合CIGS、 碲化鎘、鈣鈦礦、ITO/TCO以及BIPV的劃線、切割。

應(yīng)用領(lǐng)域:各大高校、科研院所及初創(chuàng)公司

設(shè)備優(yōu)勢(shì):

1、大理石平臺(tái):穩(wěn)定承載,耐腐蝕;

2、直線電機(jī)模組,速度快,精度高;

3、雙光路設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu),滿足定制化要求。

薄膜太陽(yáng)能組件P4激光清邊系統(tǒng)

設(shè)備介紹:本設(shè)備適用于各種薄膜太陽(yáng)能電池去除薄膜的邊緣區(qū)域,利用激光劃線劃分出區(qū)域后進(jìn)行清除。

應(yīng)用領(lǐng)域:各大高校、科研院所及初創(chuàng)公司

設(shè)備優(yōu)勢(shì):

1、高功率納秒紅外激光,定制化的光斑整形,可有效提高清邊效率;

2、自主設(shè)計(jì)的加工系統(tǒng),操作簡(jiǎn)單、方便快捷;

3、精密的集塵設(shè)計(jì),巧妙解決煙塵問題。

薄膜太陽(yáng)能組件激光劃線量產(chǎn)系統(tǒng)

設(shè)備介紹:本設(shè)備為薄膜太陽(yáng)能專用量產(chǎn)線,適合碲化鎘、鈣鈦礦電池P0打標(biāo)、P1-P3劃線、P4清邊的自動(dòng)化設(shè)備。

應(yīng)用領(lǐng)域:兆瓦線、G瓦線等量產(chǎn)客戶

設(shè)備優(yōu)勢(shì):

1、高產(chǎn)能:超快激光,配備至少8路加工光束,單機(jī)產(chǎn)能超過150MW;

2、高精度:擁有多項(xiàng)獨(dú)有“秘密科技”,刻劃精度<±10um,死區(qū)可控制在130um以內(nèi);

3、高可靠度:獨(dú)特的設(shè)計(jì)理念,設(shè)備稼動(dòng)率超過98%。

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